| 摘要 |
本发明系提供一种正型光阻组成物，用于制造于一个基板上形成积体电路与液晶显示部分之系统液晶显示器LCD(Liquid crystal displayer)，该组成物可在不降低感度下提升系统LCD所要求之耐热性、解像性、线性及焦点深度DOF(Depth of focus)特性。该系统LCD用之正型光阻组成物为含有(A)硷可溶性树脂、(B)含苯二叠氮基之化合物、(C)分子量(M)为1000以下之含酚性羟基之化合物以及(D)有机溶剂所组成之光阻组成物，且该光阻组成物中所含固形分之质量平均分子量(Mw)，以胶体渗透层析(gel permeation)法测定，以聚苯乙烯换算为5000至30000之范围内者。 |
