发明名称 正型感光性涂料组成物、正型感光性树脂之制法及图案形成方法
摘要 本发明系提供一种正型感光性涂料组成物及使用该涂料组成物之图案形成方法。本发明之正型感光性涂料组成物,其特征为对100重量份在一分子中含有特定的改性二叠氮基磺胺胺为构造单位、使该构造单位在1公斤树脂中含有0.1~0.9莫耳之浓度,且以特定的羧酸醯胺衍生物为构造单位、该构造单位在1公斤树脂中含有0.2~4.0莫耳浓度的正型感光性树脂而言配合1~50重量份至少一种选自于酚树脂、酚衍生物及儿茶酚衍生物之成分。
申请公布号 TWI224718 申请公布日期 2004.12.01
申请号 TW092107685 申请日期 2003.04.04
申请人 关西油漆股份有限公司 发明人 山中一男;大西晋辅;宫川坚次;濑古健治
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路二段七十七号八楼;何秋远 台北市大安区敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.一种正型感光性涂料组成物,其特征为相对于100重量份之正型感光性树脂而言,配合1~50重量份选自于酚树脂、酚衍生物及儿茶酚衍生物之酚成分,其中在该正型感光性树脂一分子中含有下述通式(1)所示改性二叠氮基磺醯胺为构造单位、使该构造单位在1公斤树脂中含有0.1 ~0.9莫耳之浓度,且在1公斤树脂中含有0.2~4.0莫耳浓度之下述通式(2)所示构造单位,【化1】(其中,R1系表示氢原子、直链或支链C1-6烷基、C6-8芳香族烃基、或C3-6脂环族烃基)【化2】(其中,R2、R3系各表示氢原子、直链或支链C1-6烷基、C6-8芳香族烃基、或C3-6脂环族烃基)。2.一种图案形成方法,其特征为包含(1)在基板上涂覆如申请专利范围第1项之正型感光性涂料组成物,形成正型感光性涂膜之步骤,(2)直接或经由图案光罩使该正型感光性涂膜曝光的步骤,(3)以硷性显像液除去曝光部之涂膜以形成图案的步骤。3.一种图案形成方法,其特征为(1)在导电性被膜或金属板上涂覆如申请专利范围第1项之正型感光性涂料组成物,形成正型感光性涂膜之步骤,(2)直接或经由图案光罩使该正型感光性涂膜曝光的步骤,(3)以硷性显像液除去曝光部之涂膜以形成图案的步骤,(4)使曝光的导电性被膜或金属板表面蚀刻的步骤,(5)除去图案上之光阻涂膜的步骤。4.如申请专利范围第2或3项之图案形成方法,其中使如申请专利范围第1项之感光性涂料组成物藉由电沈积涂覆于具有导电性皮膜之基板或金属板上。5.一种正型感光性树脂之制法,其特征为依序由下述步骤所成:步骤(I):依序包括使包括具有含异氰酸酯基之聚合性乙烯基的不饱和性单体的不饱和单体混合物,在自由基聚合起始剂存在下自由基共聚合的步骤、使含羟基之二叠氮化合物在锡系触媒存在下,藉由胺甲酸酯化反应加成的步骤、以及使胺基酸化合物于20~100℃之温度下以尿素化反应加成的步骤;步骤(II):依序包括对具有含异氰酸酯基之聚合性乙烯基的不饱和单体在各个锡系触媒存在下反应,藉由胺甲酸酯键结加成含羟基之二叠氮化合物、藉由尿素键结加成胺基酸化合物而形成各官能性单体、含所得单体之聚合性不饱和单体混合物在自由基聚合起始剂存在下,自由基共聚合的步骤;或步骤(III):依序包括对具有含异氰酸酯基之聚合性乙烯基的不饱和单体在锡系触媒存在下反应,藉由胺甲酸酯键结加成含羟基之二叠氮化合物而形成官能性单体,含有所得之单体与含异氰酸酯基之聚合性乙烯基的单体,及视需要的其他聚合性不饱和单体,在自由基起始剂存在下自由基共聚合,使胺基酸化合物在锡系触媒存在下以尿素化反应加成的步骤。
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