受照明器控制之色调反转列印

摘要

一种反转一将被列印在一形成在一基板上之辐射敏感材料层中之影像之色调的方法，该方法包括定义一微影性问题；设计一图案形成器件；决定一可以列印微影特征之一阳性色调之第一照明配置及一辐射敏感材料程序；及决定一可以藉由该辐射敏感材料程序来列印该微影特征之一阴性色调之第二照明配置。