电容式半导体压力感测器

摘要

本发明系提供一种电容式半导体压力感测器(capacitive semiconductor pressure sensor)。该压力感测器主要包含有一由金属固定电极与一可动的复晶矽隔膜(diaphragm)所构成的平板电容(plate capacitor)设置于一非单晶矽基底上，以及一薄膜电晶体(TFT)控制电路电连接于该平板电容，用来控制该压力感测器的操作。