基板处理方法及基板处理装置

摘要

本发明系提供一种方法，其在基板表面供应清洗液而处理基板时，可降低清洗液(纯水)的使用量。将基板W搬入水洗处理部10的处理室12内之最初，从入口喷嘴20与上部喷嘴22供应清洗液至基板，之后，直到基板从处理室10内搬出系从上部喷嘴22与下部喷嘴24供应清洗液至基板。