制造半导体装置之方法及半导体装置

摘要

一种制造一半导体装置之方法，包括步骤：在一包含一光电转换部分之半导体基板上形成一透明膜，该透明膜具有一位于该光电转换部分上方之凹部；在该透明膜上形成一材料膜，该材料膜由一具有比该透明膜高之折射率之感光材料制成；及用射线选择性地照射该材料膜之一预定部，然后对该材料膜进行显影，藉此形成一具有一面向该凹部之凸部之内层透镜。