投射光学系统

摘要

本发明揭示一种投射光学系统，其将第一表面上之图案投射于第二表面上，及具有0.85或更高之数值孔径，该投射光学系统包含一光学元件；及一抗反射涂层，其涂至该光学元件，该抗反射涂层包含复数层，一终止层具有tan｛sin^–1(NA)｝或更大之折射率，在此NA系该投射光学系统之数值孔径。