| 摘要 |
一种用于测试配置于TFT基板上之一矩阵阵列中复数个像素之装置包含：一电子枪，其用于将电子束入射至该TFT基板；一次级电子侦测器，其用于侦测藉由将该电子束入射至该TFT基板而产生的次级电子之数量；及一平台，其用于承载固定于其上之该TFT基板。该电子枪相对于固定在该平台上的TFT基板而置放，并将电子束入射至每一基本扫描区域。该电子枪在一个基本扫描区域中扫描电子束一预定数目的次数，以获得为测试像素中存在／不存在缺陷所需的次级电子波形。一直移动该平台，同时该电子枪在每一基本扫描区域中扫描电子束，藉以测试该TFT基板之整个区域。 |
