一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜

摘要

本发明涉及一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜。其特征在于驱动电极呈多级阶梯底电极结构；阶梯结构底电极台阶数至少大于或等于2，阶梯底电极与微镜的角度由台阶高度h和台阶宽度l的比值控制。通过X方向和Y方向分别设置扭梁并进行二维嵌套，可方便地扩展为二维转动微镜。其制作方法或用无掩膜各向异性腐蚀，或用DRIE干法刻蚀，或用这二种方法组合制作，然后将阶梯电极和微镜对准、安装。所用的材料为单晶硅或SOI材料，本发明综合了现有技术中倾斜电极和平行于微镜的底电极两种现有转动微镜的优点。

主权项

1.一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜，包括微镜(1)、扭梁(2)，其特征在于驱动电极呈多级阶梯底电极结构；静电驱动力矩为：$M_e=\frac{{ϵ}_0{V}^{2}L}{{2\theta }^2}\underset{i=1}{\overset{n}{\Sigma }}[1n\left(\frac{x_i-\frac{d_i+l}{2}\sin \theta }{x_i\cos \theta -d_i\sin \theta }\right)+\frac{x_i}{x_i-\frac{d_i+l}{2}\sin \theta }-\frac{x_i}{x_i\cos \theta -d_i\sin \theta }]$ 式中xi＝x0+ih，di＝d0+il，x0为微镜与第一级台阶的距离，θ为微镜扭转角度，h为台阶高度，l为台阶宽度，n为台阶数。