用以形成薄膜的可在基片和防镀片之间改变距离的喷镀设备

摘要

一种喷镀设备，用以在真空室内在由基片夹具夹持的基片上形成喷镀薄膜，具有对电极、装在对电极和基片夹具之间的防镀片、基片夹具传送机构和移动机构，移动机构用以移动所述防镀片以改变基片和防镀片之间的距离。

主权项

1.一种喷镀设备，用以在真空室内在受基片夹具夹持的基片上形成喷镀薄膜，具有：一个对电极；一防镀片，设在所述对电极和所述基片夹具之间；和一移动机构，用以移动所述防镀片以改变所述基片和所述防镀片之间的距离。