发明名称 Polymers and photoresists comprising same
摘要
申请公布号 EP1455230(A3) 申请公布日期 2004.12.01
申请号 EP20040251227 申请日期 2004.03.03
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS, L.L.C. 发明人 ZAMPINI,ANTHONY;ZHANG,TAO;LEE,JAI HYOUNG
分类号 C08G77/24;G03C1/76;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/075;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/075 主分类号 C08G77/24
代理机构 代理人
主权项
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