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经营范围
发明名称
Immersion photolithography system
摘要
申请公布号
GB0424208(D0)
申请公布日期
2004.12.01
申请号
GB20040024208
申请日期
2004.11.01
申请人
BOC GROUP, THE INC
发明人
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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