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发明名称
摘要
申请公布号 JP3277533(B2) 申请公布日期 2002.04.22
申请号 JP19920018341 申请日期 1992.01.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/26;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/28;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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