| 发明名称 | 阳极化衬底支撑件 | ||
| 摘要 | 本发明提供了衬底支撑件和其制造方法。在本发明的一种实施例中，衬底支撑件包括具有衬底支撑表面的导电主体，所述衬底支撑表面被电绝缘涂层覆盖。涂层的至少位于衬底支撑表面中心上的一部分具有约80至约200微英寸的表面光洁度。在另一个实施例中，衬底支撑件包括阳极化的铝主体，所述铝主体在所述主体的适于将衬底支撑于其上的部分具有约80至约200微英寸的表面光洁度。 | ||
| 申请公布号 | CN1551326A | 申请公布日期 | 2004.12.01 |
| 申请号 | CN200410034739.0 | 申请日期 | 2004.05.09 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 秀迎·崔;标秀·朴;泉源·商;罗伯特·I·格林;约翰·M·怀特;东吉·林;钟喜·朴;甘·罗 |
| 分类号 | H01L21/68;H01L21/205;H01L21/00;G02F1/136;C23C16/00 | 主分类号 | H01L21/68 |
| 代理机构 | 北京东方亿思专利代理有限责任公司 | 代理人 | 赵淑萍 |
| 主权项 | 1.一种衬底支撑件，包括：具有衬底支撑表面的导电主体；布置在所述主体上的电绝缘涂层；并且所述涂层的至少布置在所述衬底支撑表面的中心上方的一部分具有约80微英寸至约200微英寸之间的表面光洁度。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||