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发明名称
摘要
申请公布号 JP3276449(B2) 申请公布日期 2002.04.22
申请号 JP19930111749 申请日期 1993.05.13
申请人 发明人
分类号 B05C5/00;B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05C5/00
代理机构 代理人
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