| 发明名称 |
MULTI-DETECTOR MICROSCOPIC INSPECTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1481279(A2) |
申请公布日期 |
2004.12.01 |
| 申请号 |
EP20030715985 |
申请日期 |
2003.02.05 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION |
发明人 |
LANGE, STEVEN, R. |
| 分类号 |
G02B21/00;G02B21/06;G01N21/956;G01Q30/20;G02B17/04;G02B17/08;G02B21/02;G02B21/04;G02B21/18;G02B21/36;(IPC1-7):G02B27/12;G02B15/14;G02B5/08;G21K7/00 |
主分类号 |
G02B21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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