具有可移动致动器与壁之间的密封的微机电设备

摘要

埋嵌于墨喷嘴中的微机电设备具有一个致动器，该致动器用于移动一个喷墨桨叶(27)，当热感应电流流过时，致动器被打开。桨叶位于墨腔(24)内，致动器穿过腔(24)内的致动器孔(54)。腔(24)部分地由墨腔(24)的上半壁(23)上的直边缘部分(10)所形成。致动器携带第二平面壁(9)，用于覆盖致动器孔，同时当致动器和桨叶移动以喷射墨滴(D)时，第二平面壁能够相对于边缘部分移动。当致动器移动时，第二平面壁相对于边缘部分移动，在边缘部分与第二平面壁之间形成弯月形部分(M)，它在第二平面壁与腔壁(23)的边缘部分(10)之间形成密封，从而克服了以往的密封件所产生的问题，并提供了高度柔性的、可自身形成的密封。

主权项

1.一种微机电设备，包括：一个液体腔，用于盛放液体，该液体腔具有第一腔壁，该腔壁具有一个直的周围边缘部分；一个腔壁内的输出孔，用于允许液体从腔内排出，一个部分地由腔壁的所述边缘部分所限定的致动器孔；一个穿过致动器孔伸入所述腔的致动器，它能够移动以便从腔内通过输出孔排放液体；一个由致动器承载并且至少覆盖一部分所述致动器孔的第二壁，该第二壁是平面的，并且当致动器移动以便自腔内排放液体时能够相对于腔壁的边缘部分而移动，且其中，当致动器在腔内移动以便从腔内排放液体时，该第二壁相对于边缘部分保持紧密相距关系地移动，以便由腔内液体在边缘部分与第二壁之间形成一个弯月形部分，从而在第二壁与边缘部分之间形成密封。