用于检查基片的装置

摘要

一种用于检查放置在目标位置的基片的缺陷的装置，包括：一个底座；一个用于放置待检基片的平台；一个可移动结构，该平台转动地安装在可移动结构的上面；和一个具有六个提升传动装置的平行操作装置，每个提升传动装置可以按预定的量向上/下移动，该提升传动装置具有与底座连接的可以在任意方向转动的一个下端，和与可移动结构连接的可以在任意方向转动的一个上端，以便在目标方向移动该可移动结构，从而允许在目标位置放置该基片和简化该检查系统。

主权项

1.一种用于检查放置在目标位置的基片的缺陷的装置，包括：一个底座；一个用于放置待检基片的平台；一个可移动结构，所述平台可转动地安装在所述可移动结构上；和一个平行操作装置，所述平行操作装置具有六个提升传动装置，每个提升传动装置可以上/下移动预定的量，所述提升传动装置具有一个与所述底座连接以便在任一方向转动的下端，和一个与所述可移动结构连接以便在任一方向转动的上端，所述平行操作装置用于在目标方向移动所述可移动结构。