通过电子附着去除表面氧化物的电极部件

摘要

本发明公开了一种用于去除基片表面金属氧化物的装置和包含该装置的方法。一个优选的实施方式中，装置包含一个具外壳的电极部件，该外壳至少部分含有绝缘材料并具有内部空间和至少一个与内部空间液体连接的液体入口；连于外壳上的导电基底，该基底包含延伸至目标区域中的大量导电端和延伸穿过其中而与内部空间液体传递中的大量小孔，以允许含还原气体的气体混合物通过。

主权项

1.一种去除基片表面金属氧化物的方法，该方法包括：提供基片、电极部件、和位于目标区域中的基底电极，其中电极部件包括外壳，所述外壳至少部分由绝缘材料构成并具有内部空间和至少一个与具内部空间液体连接的液体入口；连接于外壳的导电基底，它包含延伸至目标区域中的大量导电端，并且具有延伸穿过其中而与内部空间液体连接的大量小孔，以允许含还原气体的气体混合物通过；其中基底电极邻近电极部件和基片；使气体混合物通过目标区域；提供能量到的电极部件，以在目标区域产生电子，其中至少部分电子附着在至少部分还原气体上，形成带负电的还原气体；并且使该带负电的还原气体接触处理表面以还原基片处理表面的金属氧化物。