发明名称 |
用于大气压力等离子体发射装置的新电极和使用它的方法 |
摘要 |
一种等离子体发射装置和使用该装置的方法,该装置包括第一电极和第二电极。第二电极是多孔的,即构成为允许等离子体放电通过它。相应地,等离子体被接收在第二电极的一侧和从其相反等离子体出射侧发射。第二电极的各种结构都是可行的,只要允许等离子体放电通过它即可。例如,第二电极可以是其间夹有至少一个导电层的多个绝缘材料层的叠层。穿过该叠层限定多个孔,并且介质套管插入该孔中并保持在其中。产生的等离子体通过限定在每个介质套管中的一个或多个孔洞。作为选择,第二电极可以形成为穿过框架基本上平行捆扎起来的多个单向高压线或者是交织并由周边框架固定的多个双向高压线。由于等离子体通过第二电极,因此该等离子体反应器可以处于靠近被处理物体的表面的位置上或与其直接接触。 |
申请公布号 |
CN1552082A |
申请公布日期 |
2004.12.01 |
申请号 |
CN02817109.8 |
申请日期 |
2002.07.01 |
申请人 |
等离子体溶胶公司 |
发明人 |
理查德·克罗伊;塞尔吉·巴布克-马尔伊;库尔特·科瓦奇;西斯·特鲁伯 |
分类号 |
H01J1/16 |
主分类号 |
H01J1/16 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
李强 |
主权项 |
1、一种等离子体发射装置,包括:第一介质;靠近所述第一介质设置的一个第一电极,所述第一电极处于第一电压电位;和处于不同于第一电压电位的第二电压电位以便产生等离子体放电的第二电极,所述第二电极允许等离子体放电通过它。 |
地址 |
美国新泽西州 |