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发明名称 APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR OR LIQUID CRYSTAL
摘要
申请公布号 EP1482071(A1) 申请公布日期 2004.12.01
申请号 EP20030743555 申请日期 2003.03.03
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD 发明人 KUIBIRA, AKIRA,;NATSUHARA, MASUHIRO,;NAKATA, HIROHIKO,
分类号 H05B3/74;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):C23C16/458;H01L21/205;H01L21/306 主分类号 H05B3/74
代理机构 代理人
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