发明名称 Photosensitive composition and acid generator
摘要
申请公布号 EP1406122(A3) 申请公布日期 2004.12.01
申请号 EP20030021631 申请日期 2003.09.25
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD. 发明人 KODAMA, KUNIHIKO
分类号 C07C381/12;C07D333/46;C09K3/00;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 C07C381/12
代理机构 代理人
主权项
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