发明名称 |
干燥空气供给装置 |
摘要 |
是以提供一种谋求构造的简单化以及装置的小型化的干燥空气供给装置为目的。将除去水分以及有机物的干燥空气供给到目的空间的装置,具有多个转子2a、2b、分割部件3(3A、3B)、供给通路5及排气通路6,该多个转子2a、2b是承载吸附剂而构成,同时直列连接,分别可旋转地被支撑;该分割部件3(3A、3B)配置在这些转子2a、2b的最外端部以及转子之间,将转子2a、2b的旋转区域分割为吸附区域S、再生区域U以及冷却区域T;该供给通路5使上述所吸引的空气通过上述吸附区域S,将除去水分以及有机物的干燥空气供给到上述目的空间;该排气通路6在使上述干燥空气的一部分通过上述冷却区域T后,对其进行加热,使之通过上述再生区域U,使水分以及有机物从吸附剂中脱离。 |
申请公布号 |
CN1551291A |
申请公布日期 |
2004.12.01 |
申请号 |
CN200410034692.8 |
申请日期 |
2004.04.23 |
申请人 |
霓佳斯株式会社 |
发明人 |
儿玉法明;黑泽正司;山下胜宏 |
分类号 |
H01L21/00;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/00 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
陈伟 |
主权项 |
1.一种干燥空气供给装置,是将除去水分以及有机物的干燥空气供给到目的空间的装置,其特征在于,具有多个转子、分割部件、驱动机构、供给通路及排气通路,该多个转子是承载吸附剂而构成,同时直列连接并分别可旋转地被支撑;该分割部件配置在这些转子的最外端部以及转子之间,将转子的旋转区域分割为吸附区域、再生区域以及冷却区域;该驱动机构旋转驱动上述转子;该供给通路使所吸引的空气通过上述吸附区域,将除去水分以及有机物的干燥空气供给到上述目的空间;该排气通路在使上述干燥空气的一部分通过上述冷却区域后,对其进行加热,使之通过上述再生区域,使水分以及有机物从吸附剂中脱离。 |
地址 |
日本东京 |