带有电荷耦合器件检测器的发射光谱仪

摘要

一种分析仪，用于在超高纯度应用中进行连续气体分析。分析仪包含弱光发射源和气体发射光谱仪(10)，所述光谱仪含有用作检测器的电荷耦合器件(CCD)二极管阵列。该CCD阵列替代通常用在光谱仪中的一个或者多个光电倍增管和窄带通滤光器。所述分析仪执行各种处理操作来评价和消除背景光强或者暗光谱的影响。

主权项

1.一种气体发射光谱分析仪，包含：含有光谱分析气体样品的分析样品池(40)；变压器(50)，用于给在所述分析样品池(40)中的气体样品提供电压，所述电压足以从所述气体样品中产生弱光发射源；光谱仪(10)，用于检测所述弱光发射源的发射光谱，所述光谱仪使用电荷耦合器件阵列作为检测器；和计算机(20)，用于控制所述分析仪并分析由所述光谱仪(10)检测到的发射光谱。