发明名称 APERTURE MASKS FOR CIRCUIT FABRICATION
摘要
申请公布号 EP1481111(A2) 申请公布日期 2004.12.01
申请号 EP20030707482 申请日期 2003.01.21
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 BAUDE, PAUL, F.;FLEMING, PATRICK, R.;HAASE, MICHAEL, A.;KELLEY, TOMMIE, W.;MUYRES, DAWN, V.;THEISS, STEVEN
分类号 H05B33/10;C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56;G03F7/12;H01L21/336;H01L21/363;H01L29/786;H01L33/00;H01L51/05;H01L51/50;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人
主权项
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