| 发明名称 | 金属－绝缘体－金属电容器及其制作方法 | ||
| 摘要 | 集成组件层结构中的电容器层叠(12)与邻近的互连层(13)之间除电介质夹层(5)外具有相同的层序列。这显著地方便了通孔(16)的制作。 | ||
| 申请公布号 | CN1178302C | 申请公布日期 | 2004.12.01 |
| 申请号 | CN01806127.3 | 申请日期 | 2001.03.06 |
| 申请人 | 因芬尼昂技术股份公司 | 发明人 | R·拉奇纳;M·施维德;M·施伦克 |
| 分类号 | H01L29/92 | 主分类号 | H01L29/92 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 赵辛 |
| 主权项 | 1.一种有多个互连层(13)和一个电容器(12)的集成元件，其中的电容器(12)包含一个第一电极(14)、一个电介质夹层(5)和一个第二电极(15)，其特征在于，电容器(12)的电极(14和15)总的层序列(3、4、7-11)与邻近互连层(13)的层序列(3、4、7-11)完全相同。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||