微影用光罩护层及其制作方法

摘要

本发明旨在提供一种较大尺寸之微影用光罩护层及其制作方法，相较于知之旋转涂布法，可以更简单且确实地制作既价廉又大型之光罩护层，其具有膜厚不均现象较少、光线透过率均匀且较高的优点。本发明之微影用光罩护层，至少具有：a)光罩护层膜，阻挡异物用；b)光罩护层框，黏贴该光罩护层膜；c)黏接剂层，为了黏贴光罩护层膜而设置于光罩护层框之一边端面；d)黏附层，设置于光罩护层框之另一边端面；其特征为：该光罩护层膜系利用金属模涂布机而形成的。