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发明名称 METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE TO SHORTEN INTERVAL OF FABRICATING TIME AND IMPROVE PRODUCTIVITY
摘要
申请公布号 KR100460798(B1) 申请公布日期 2004.12.01
申请号 KR19970025855 申请日期 1997.06.19
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, YEONG U;PARK, JEONG JU;LEE, SEON HUN
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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