检验状态显示方法

摘要

本发明之目的系即时验证缺陷内容。缺陷影像、对应原版图案Y影像、故障指示钮、非缺陷指示钮、灰尘指示钮、块编号、块座标及缺陷类型系显示于检验状态显示窗之缺陷影像区内。当选定非缺陷指示钮或灰尘指示钮时，检验装置辨识对应该选定钮之缺陷可忽略，而将此种缺陷检验结果由缺陷改成非缺陷。