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发明名称 LIQUID FLOW PROXIMITY SENSOR FOR USE IN IMMERSION LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 SG107157(A1) 申请公布日期 2004.11.29
申请号 SG20030007486 申请日期 2003.12.16
申请人 ASML HOLDING N.V. 发明人 KEVIN J. VIOLETTE
分类号 G01F1/00;G01B13/12;G03F7/20;G05D7/01;H01L21/027;(IPC1-7):G01B13/12;G01B13/16;H01L21/66 主分类号 G01F1/00
代理机构 代理人
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