发明名称 |
电信号传输线 |
摘要 |
一种电信号传输线,包括形成在半导体衬底(1)上的信号电极部分(2)、接地电极部分(3)和介电部分(4)。信号电极部分(2)具有电信号流过的金属电极(21)、上导电半导体(22)和下导电半导体(23)。接地电极部分(3)具有接地金属电极(31)和导电半导体(32)。在上导电半导体(22)和下导电半导体(23)具有相反的极性的情形下,信号电极部分(2)的金属电极(21)和接地电极部分(3)的金属电极(31)用半导体PN结连接。介电材料填满和覆盖信号电极部分(2)的金属电极(21)和接地电极部分(3)的金属电极(31)之间的区域,电力线穿过该区域形成介电部分(4)。在这种结构下,可以提供能够高速电信号传播和用目前的半导体制造方法以稳定质量制造的电信号传输线。 |
申请公布号 |
CN1630947A |
申请公布日期 |
2005.06.22 |
申请号 |
CN02829215.4 |
申请日期 |
2002.05.24 |
申请人 |
独立行政法人产业技术综合研究所 |
发明人 |
板谷太郎;八木修一 |
分类号 |
H01L27/04;H01P3/02;H01L21/3205 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
王永刚 |
主权项 |
1.一种电信号传输线,包括形成在半导体衬底(1)上的信号电极部分(2)、接地电极部分(3)和介电部分(4),所述信号电极部分具有电信号流过的金属电极(31),所述接地电极部分具有接地金属电极,所述信号电极部分的金属电极和所述接地电极部分的金属电极由半导体PN结连接,以及所述介电部分通过用电介质覆盖所述信号电极部分的金属电极与所述接地电极部分的金属电极之间的区域而形成,其中电力线穿过该区域,而且该区域是被传输的电信号的能量存在的区域。 |
地址 |
日本东京 |