用于曝光基板之曝光装置以及曝光面板之方法

摘要

一种用于曝光基板之曝光装置。曝光装置包括一承载机构、一第一能量装置及一第二能量装置。承载机构包括复数个承载元件，用以承载基板。第一能量装置与第二能量装置分别设置于承载机构的上方及下方。