Verfahren zum Evakuieren einer Vakuumkammer und einer Hochvakuumkammer sowie Hochvakuumanlage zu seiner Durchführung,申请号DE19924213763-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum Evakuieren einer Vakuumkammer und einer Hochvakuumkammer sowie Hochvakuumanlage zu seiner Durchführung
摘要
申请公布号	DE4213763(B4)	申请公布日期	2004.11.25
申请号	DE19924213763	申请日期	1992.04.27
申请人	UNAXIS DEUTSCHLAND HOLDING GMBH	发明人	GEBELE, THOMAS;BUSCHBECK, WOLFGANG
分类号	B01J3/00;F04B37/14;(IPC1-7):B01J3/04;G01L21/00	主分类号	B01J3/00
代理机构		代理人
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