发光元件及其制造方法

摘要

一种具有由III族氮化物系化合物半导体形成之发光元件部及具有一发光层之发光元件。该发光元件部藉由于该基板上成长该发光元件部之后进行湿式蚀刻，再藉由剥离该基板而形成。该发光元件部具有一剥离表面，该剥离表面维持本质上完整无缺，如同该发光元件部成长于基板上时所形成之剥离表面。