于工件处理中侦测结束点

摘要

本发明提供一种处理结束点侦测系统，其中将光发散并接着感测光之强度或色彩，且大幅降低杂讯以达成更精确之结束点侦测。发光器与光感测器得位于工件处理室内，而围绕于发光器与光感测器之外壳可隔绝处理液体并将穿过之光线发散，且此发散之光线于到达光感测器前可先进行光学过滤。