| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM LOKALEN ÄTZEN EINES SUBSTRATS UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT412205(B) |
申请公布日期 |
2004.11.25 |
| 申请号 |
AT20030000336 |
申请日期 |
2003.03.06 |
| 申请人 |
INNOVATIONSAGENTUR GESELLSCHAFT M.B.H.;PIGLMAYER KLAUS DIPL.ING. |
发明人 |
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| 分类号 |
B23K26/12;B23K26/38;B81C1/00;C23C16/04;C23F4/00;H01J9/02;(IPC1-7):B81C1/00;H01L21/20 |
主分类号 |
B23K26/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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