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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer optischen Apertur und zur Herstellung einer Probe für eine optische Nahfeldvorrichtung
摘要
申请公布号 DE60106548(D1) 申请公布日期 2004.11.25
申请号 DE2001606548 申请日期 2001.11.22
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC., CHIBA 发明人 OUMI, MANABU;ICHIHARA, SUSUMU;KATO, KENJI;MITSUOKA, YASUYUKI;NIWA, TAKASHI;KASAMA, NOBUYUKI;MAEDA, HIDETAKA;SHINOHARA, YOKO
分类号 G01Q60/22;(IPC1-7):G12B21/06 主分类号 G01Q60/22
代理机构 代理人
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