Flüssigmetallschalter, die ein strukturiertes Dickfilmdielektrikum als Kanäle und eine dünne Keramik- oder Glasabdeckplatte verwenden

摘要

Kanäle und Hohlräume bei einer LIMMS-Vorrichtung sind aus einer Schicht eines dielektrischen Dickfilmmaterials gebildet, die auf einem Substrat aufgebracht ist, wobei die Schicht dann mit einer dünnen Abdeckplatte aus Keramik oder vielleicht Glas bedeckt wird. Die Schicht eines dielektrischen Materials kann unter Verwendung herkömmlicher Dickfilmtechniken strukturiert werden und eine gute Abmessungssteuerung kann erreicht werden. Die dielektrische Schicht ist selbst die eigene hermetische Abdichtung derselben gegenüber dem Substrat und bietet sich ohne weiteres zu der Bildung der zusätzlichen hermetischen Abdichtung an, die zwischen derselben und der Abdeckungsplatte benötigt ist. Geeignete dielektrische Dickfilmmaterialien, die als eine Paste aufgebracht und nachfolgend ausgehärtet werden können, umfassen die Dickfilmdielektrika KQ 150 und KQ 115 von Heraeus und die Dickfilmzusammensetzungen 4141A/D von DuPont.