发明名称 | 模块式流体输送装置 | ||
摘要 | 一种用于将流体输送给一个或多个流体处理部件的流体输送装置。该流体输送装置包括一个或多个模块式子组件,各子组件包括一个上部模块、一个下部模块和一个基座块。该上部模块包括一个用于与流体处理部件连接的通道,这样,该上部通道与流体处理部件流体连通。该下部模块包括一个用于与上部模块连接的下部通道,这样,该下部通道与上部通道流体连通。该下部模块包括流动通路,该流动通路包括下部通道。该基座块包括一个容器和一个通路。该上部模块装于该容器内,该下部模块穿过该通路。该模块式子组件可以包括一个隔板,该隔板有多个对齐孔,以便使上部模块和下部模块的流体连接孔对齐。还公开了一种使用该流体输送装置的方法。 | ||
申请公布号 | CN1177162C | 申请公布日期 | 2004.11.24 |
申请号 | CN02106830.5 | 申请日期 | 2002.03.05 |
申请人 | ASML美国公司 | 发明人 | 南·V·恩古云 |
分类号 | F16K27/00 | 主分类号 | F16K27/00 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 范莉 |
主权项 | 1.一种用于将流体输送给一个或多个流体处理部件的流体输送装置,所述装置包括:一个上部模块,该上部模块包括一个上部通道,该上部模块与流体处理部件连接,这样,该上部通道与流体处理部件流体连通;一个下部模块,该下部模块包括一个下部通道,该下部模块与上部模块连接,这样,该下部通道与上部通道流体连通;以及一基座块,该基座块包括一个容器和一个通路,该上部模块装于该容器内,该下部模块穿过该通路。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |