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发明名称 Fluid heating apparatus
摘要
申请公布号 EP1139694(A3) 申请公布日期 2004.11.24
申请号 EP20010107475 申请日期 2001.03.28
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO., LTD.;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 TOYA, EIICHI;KONN, TOMIO;NAGATA, TOMOHIRO;SEKO, SUNAO;SAITO, TAKANORI;MIURA, KAZUTOSHI;HASEGAWA, HARUNARI;HOSHI, JOJI;ISHII, KATSUTOSHI
分类号 H05B3/14;F24H1/10;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/26;H01L21/31;H05B3/40;H05B3/42;H05B3/44;H05B3/46;(IPC1-7):H05B3/44;H01L21/00 主分类号 H05B3/14
代理机构 代理人
主权项
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