SPIN-ON-GLASS ANTI-REFLECTIVE COATINGS FOR PHOTOLITHOGRAPHY,申请号EP20010995897-传众专利搜索

发明名称	SPIN-ON-GLASS ANTI-REFLECTIVE COATINGS FOR PHOTOLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号	EP1478681(A1)	申请公布日期	2004.11.24
申请号	EP20010995897	申请日期	2001.11.16
申请人	HONEYWELL INTERNATIONAL, INC.	发明人	BALDWIN-HENDRICKS, T.;KENNEDY, JOE;RICHEY, MARY
分类号	C08G77/02;G03F7/11;C08G77/04;C08G77/18;C08G77/20;C09D183/02;C09D183/04;C09D183/06;C09D183/08;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):C08G77/02	主分类号	C08G77/02
代理机构		代理人
主权项
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