| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING ELEMENTS IN A SUBSTRATE FOR OPTICS, ELECTRONICS OR OPTOELECTRONICS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1360469(B1) |
申请公布日期 |
2004.11.24 |
| 申请号 |
EP20020704803 |
申请日期 |
2002.02.12 |
| 申请人 |
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES |
发明人 |
VIRAVAUX, LAURENT |
| 分类号 |
G01N27/62;C01B7/19;C01B33/107;G01N1/40;(IPC1-7):G01N1/40;H01L21/00 |
主分类号 |
G01N27/62 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
