防止回溅的装置与方法

摘要

本发明是有关于一种防止回溅的装置，是用于面板或基板的黄光制作过程，以防止滴置于基板或面板表面的液体(例如显影液或光阻液)，经旋涂后，溅散于周缘后又回溅至基板或面板。因而引起图样或黄光制作过程的缺陷，造成产品的劣化。该防止回溅的装置主要包含：一旋转器，至少一液体喷洒单元，至少一围绕部分该旋转器的挡板，以及一粗糙化单元。而防止回溅的方法，在此也一并揭示。

主权项

1、一种防止回溅的装置，是配合一基板，其特征在于，主要包含：一旋转器，用以容置及旋转该基板；至少一液体喷洒单元，位于该旋转器的一侧，用以喷洒一液体至该基板；至少一围绕部分该旋转器的挡板，用以防止该液体溅出；一粗糙化单元，是披覆于部分该挡板上，用以防止该液体被该挡板回溅。