光学平移测量

摘要

一种用来确定一个表面相对于一个测量装置的相对运动的方法，它包括：用入射照明光照明表面；探测从表面反射的光以形成至少一个探测信号；以及根据上述至少一探测信号确定平行于表面的相对运动的量，其特征在于：上述的确定包含了对垂直于表面的相对运动的影响的校正。

主权项

1、一种用来确定一个表面相对于一个测量装置的相对运动的方法，包括：用来自一激光源的线性偏振化的入射照明光照射该表面，以便照明光该从表面的几个部分反射；偏振化反射的照明光；利用从激光源导出的参考光作为本地振荡光对从该表面反射的照明光进行相干探测，以形成至少两个信号；利用该至少两信号确定该表面的相对运动量。