发明名称 四连杆晶片夹紧机构
摘要 晶片夹紧机构包括一个连杆机构和一个与该连杆机构接触的晶片接触点。该连杆机构最好包括一个四连杆,其具有:一第一连杆,具有一第一固定枢轴的和一远离所述第一固定枢轴的第一浮动枢轴;一第二连杆,具有一第二固定枢轴的和一远离所述第二固定枢轴的第二浮动枢轴;和一第三连杆,具有一与所述第一浮动枢轴旋转相连的第一连接枢轴,和具有一与所述第二浮动枢轴旋转相连的第二连接枢轴。在利用中连杆机构使得晶片接触点夹紧晶片。
申请公布号 CN1550032A 申请公布日期 2004.11.24
申请号 CN02817083.0 申请日期 2002.06.27
申请人 实用材料公司 发明人 D·K·科克斯;V·梅弄
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 肖春京;黄力行
主权项 1、一种晶片夹紧机构,其包括:一连杆机构,包括:一第一连杆,其具有一第一固定枢轴和一远离所述第一固定枢轴的第一浮动枢轴;一第二连杆,其具有一第二固定枢轴的和一远离所述第二固定枢轴的第二浮动枢轴;和一第三连杆,其具有一与所述第一浮动枢轴旋转相连的第一连接枢轴,并具有一与所述第二浮动枢轴旋转相连的第二连接枢轴;和一与所述连杆机构相连的晶片接触点,从而在使用中所述连杆机构的运动使得所述晶片接触点与一晶片接触。
地址 美国加利福尼亚州