制作互补式金属氧化电晶体的方法

摘要

一种制作互补式金属氧化电晶体的方法,其中基底上具有第一闸极结构和第二闸极结构,依序形成介电层和图案化光阻层于基底上,进行蚀刻制程,使得未被图案化光阻层覆盖之介电层形成侧壁子于第一闸极周围、被图案化光阻层覆盖之介电层形成阻挡层于第二闸极上方。于第一闸极之两侧之基底中形成凹槽,以及于凹槽内分别形成磊晶层。