使用压电薄膜的指纹传感器

摘要

提供了一种通过将作用于压电薄膜的压力转换成电信号来感知指纹的指纹传感器。该指纹传感器具有一个压电器件集合体，它包括：衬底；在衬底上形成的下部电极；在下部电极上形成的压电薄膜；在压电薄膜上形成的上部电极；在上部电极上形成的加压部分，该加压部分用于通过由于指纹接触所产生的压力来改变压电薄膜上的电荷量；以及在下部电极上形成的非导电层，该非导电层用于支撑和暴露所述加压部分。结果，能够提供一种结构简单，并且能够利用压电现象准确感知指纹信息的指纹传感器。该指纹传感器能够应用于公共机构和私人企业中用于确定人员身份的系统，以及个人便携系统。

主权项

1.具有一个压电器件集合体的指纹传感器，其包括：衬底；在衬底上形成的下部电极；在下部电极上形成的压电薄膜；在压电薄膜上形成的上部电极；在上部电极上形成的加压部分，该加压部分用于通过由指纹接触的压力来改变压电薄膜上的电荷数量；以及在下部电极上形成的非导电层，该非导电层用于支撑和暴露所述加压部分；其中，所述加压部分自非导电层的表面凸起，而且，所述加压部分的宽度小于每个指纹的凸点以及凸点之间的距离。