多层陶瓷衬底的制造方法

摘要

制备具有空腔的生片堆叠体，制备包含无机粉末材料的收缩减小片，该无机粉末材料在烧结生片堆叠体的步骤中不会被烧结。放置收缩减小片以便封闭空腔的腔口且覆盖生片堆叠体的片堆叠方向的端面。在片堆叠方向通过弹性件对生片堆叠体加压，以便切割收缩减小片，将由收缩减小片的切开部分形成的收缩减小片块置于空腔的底表面上。在收缩减小片置于空腔的底表面上的状态下烧结生片堆叠体。

主权项

1.一种多层陶瓷衬底的制造方法，包括：提供具有用于形成空腔的开口的第一生陶瓷片、至少在与所述开口对应的位置没有开口的第二生陶瓷片和包含第一无机材料的收缩减小片，所述空腔具有底表面，所述无机材料在第一和第二生陶瓷片可以烧结的烧结温度下不会被烧结；通过堆叠所述第一生陶瓷片和所述第二生陶瓷片，使得所述空腔的腔口置于得到的生片堆叠体的片堆叠方向的至少一个端面上来制备具有由所述开口限定的空腔的生片堆叠体，放置收缩减小片以便封闭所述空腔的所述腔口并且覆盖所述生片堆叠体的片堆叠方向的所述端面；在片堆叠方向对所述生片堆叠体加压，使得压力作用到所述空腔的底表面，以便沿着限定所述空腔的所述腔口的边缘切割所述收缩减小片，并且使得由所述收缩减小片的一部分形成的收缩减小片块置于所述空腔的所述底表面上；和在所述收缩减小片块在所述空腔的所述底表面上的状态下，在所述第一和第二生陶瓷片中包含的陶瓷材料被烧结而所述收缩减小片中的第一无机材料不被烧结的温度下烧结所述生片堆叠体。