发明名称 CHANNEL SPARK SOURCE FOR GENERATING A STABLY FOCUSSED ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 EP1479090(A2) 申请公布日期 2004.11.24
申请号 EP20030702521 申请日期 2003.01.24
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH 发明人 SCHULTEISS, CHRISTOPH;BUTH, LOTHAR-HEINZ-OTTO
分类号 C23C14/30;H01J1/02;H01J3/02;H01J37/077;H05H1/24;(IPC1-7):H01J1/02 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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