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发明名称 ANTI-REFLECTIVE COATINGS FOR PHOTOLITHOGRAPHY AND METHODS OF PREPARATION THEREOF
摘要
申请公布号 EP1478682(A1) 申请公布日期 2004.11.24
申请号 EP20020793921 申请日期 2002.11.12
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL, INC. 发明人 BALDWIN, TERESA;KENNEDY, JOSEPH;IWAMOTO, NANCY;NAKANO, TADASHI;BEDWELL, WILLIAM;STUCK, JASON;HEBERT, MELLO;SUEDMEYER, ARLENE
分类号 C08G77/04;C09D183/04;G03F7/09;(IPC1-7):C08G77/08;C08G77/18 主分类号 C08G77/04
代理机构 代理人
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